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应用案例 - 平板显示

概要:
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光刻技术不仅能制作“光罩”，也能制作金属模具，它可用于纳米压印复制、注塑和涂料印刷等用途。

光刻+电铸制作精密金属模具的工艺流程如下图。





结合大尺寸光刻和精密电铸技术可制作用于OLED蒸镀的精密金属遮罩（FMM），其产品照片如下图所示。

其中用于显示像素的微小开窗必须采用斜坡口，以提升沉积的均匀性和稳定性。



用于OLED蒸镀的精密金属遮罩（FMM）



OLED蒸镀过程中精密金属遮罩（FMM）的使用场景