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产品中心 - 测量与检测系统 - 精密运动平台

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H型双驱气浮平台


纳米超声波电机XY模组


气浮导轨直线电机模组




基于长期的精密光刻的应用经验，我们对精密运动平台的精度有着不一样的理解。我们根据客户的应用场景选择最佳的驱动和控制方式。

平台采用光动或雷尼绍激光干涉仪标定校正X-Y的直线度、垂直度以及Z向的平面度，补偿数据可写入运动控制器实现实时补偿。

用于纳米级检测的气浮XY平台 平台XY精度校正补偿