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应用案例 - 微纳结构

概要:
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激光直写光刻机广泛应用于半导体、微光学、微纳结构和生物医疗等领域，典型加工产品包括：MEMS器件、微光学器件、生物微流道芯片和各种表面超材料结构。示例如下：

射频开关RF MEMS Switch / 纳米减反 / 纳米抗菌（Sharklet）


中空微针 / 仿生微刚毛 / 微流控芯片


随机微透镜 / 超透镜（MetaLens）/ 涡旋光场