产品中心 - 光刻机模块 - 数字化光引擎DMD
DMD（Digital Micro-mirror Device）是空间光调制器的典型代表，它通过电信号实现光场的数字化调控。DMD作为一种MEMS光电器件，相比液晶类空间光调制器具有诸多优势，包括可靠性高、刷新速度快、耐高功率、适用波长范围宽等。
DMD衍射特性分析/ DMD衍射级实测
与普通的平面成像器件不同，DMD的微观结构类似二维闪耀光栅，其成像特性分析往往需要综合考虑光栅的衍射效应。围绕DMD设计前端照明系统和后端的成像光路，与传统的成像光路都存在较大的差异。我公司可提供从入门型到专业型的各类DMD套件（光引擎芯片+驱动主板），并且为用户的光学设计和应用提供专业的技术支持。DMD是直写光刻设备的核心部件，但其重要应用不限于此。其它应用领域还有：3D打印、3D形貌测量、光谱分析、共焦扫描、波前处理等等。
入门型的DMD套件，具有极高的性价比，适合光电实验和样机验证开发。专业型DMD套件具有更高的传输刷新速率，更强的可靠性，以及行业专用的定制功能，适合量产设备。
入门型DMD套件
专业型DMD套件
|
DMD类型 |
入门型 |
专业型 |
|
显示分辨率 |
1024*768@13.68um/10.8um，1920*1080@10.8um，... |
|
|
数据传输 |
视频接口/USB 2.0 |
USB 3.0/以太网/光纤 |
|
刷新频率 |
>8KHz |
>20KHz |
|
控制方式 |
内、外触发 |
内、外触发；滚动刷新 |
|
定制功能 |
无 |
固件功能定制；深紫外窗口 |
