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产品中心 - 光刻机模块 - 照明光源

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我们可根据客户的需求提供波长为405nm/385nm/365nm/355nm/266nm等一系列照明光源。照明光源采用模块化设计，具有良好的光学性能和环境稳定性，照明面的光强均匀性优于90%，并且可与后续光路良好匹配。

照明光源的投射形状、发散角和出光功率等光学参数可根据客户需求定制。并且，对于DMD这类特殊器件的照明，我们可提供完整的解决方案和技术支持。



均匀化的照明光源是光刻机的重要组成部分。左上图模拟了给定线条图形的在不同照明条件下的投影曝光光场分布，可以看出优化的均光照明IL2相比普通的平行照明IL1，可以获得更为可靠的图形保真度。