应用案例 - 灰度光刻

概要:

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光刻加工通常用于二值化的图形生成，加工后图案槽型陡直。而灰度光刻方式（也称为灰阶光刻gray scale lithograph）可将光刻胶加工为多台阶形貌，台阶数目最大可达256级甚至512级。当台阶数目较大时，光刻胶表面接近光滑曲面，展现出特殊的视觉和光学效应，包括：三维立体显示效果、金属光泽、定向闪耀等，其典型实例为菲涅尔透镜、浮雕立体字、光柱背景等。